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Castle系列立式炉Mini STK，，，，，，，应用于200mm和300mm立式炉管装备前端，，，，，，，适用于晶圆盒转运、暂存和开盒。。。。。系列产品搭载自主研发晶圆盒型机械手、FIMS等，，，，，，，并可凭证客户需求定制化装备外观及接口。。。。。

产品优势

一体成型设计

整机一体成型设计

自主研发

自主研发FTR机械手，，，，，，，适配多类型300mm FOUP

搭载双口开盒器

后端搭载双口开盒器（FIMS），，，，，，，实现Front N2 purge

可选配

可选配Shelf N2 purge

产品参数

负载

≤10kg

重复位置精度

±0.1mm

工位数

18

振动

≤0.45g

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400-800-8666

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