SMIF 晶圆装载装置
SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置 ，，，，，，适用于150mm和200mm晶圆盒的自动开关盒 ，，，，，，效率高 ，，，，，，稳固性好 ，，，，，，重复定位精度高 ，，，，，，清洁品级为Class1；； ；；；具有兼容150mm和200mm晶圆的mapping功效 ，，，，，，能自动检测盒内各槽晶圆状态 ，，，，，，例如单片、跨片；； ；；；具有实时检测的机械手互锁和光栅互锁功效 ，，，，，，可以有用保唬� ；；；せ凳忠约叭松砬寰玻唬� ；；；具有RFID读取功效。。。。。 。。
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