MLC 600 直写光刻系列

选取先进的数字光刻技术，无需掩模版，可能直接将疆域信息转移到涂有光刻胶的衬底上。产品职能矫捷、体积幼、性价比高，专为各高校、尝试室及钻研机构量身打造。其重要利用产品蕴含各类MEMS造作（如MEMS麦克风、压力传感器、加快度计、陀螺仪、超声波传感器、压电传感器）、掩模板造作等。

产品特点

精彩型直写光刻设备

利用于MEMS、功率器件等

自动对准、背部对准、用户自界说象征对准职能

自动实时聚焦职能

*以上数据起源于CFMEE尝试室测试了局，具体情况可能因现实使用环境而有所分歧。本公司保留对有关数据和内容进行调整的权势，恕不另行通知。

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